MFC和MFM可廣泛地應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中，其典型應(yīng)用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。渦街流量計(jì)其特點(diǎn)是壓力損失小，量程范圍大，精度高，在測(cè)量工況體積流量時(shí)幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數(shù)的影響。無可動(dòng)機(jī)械零件，因此可靠性高，維護(hù)量小。儀表參數(shù)能長(zhǎng)期穩(wěn)定。渦街流量計(jì)采用壓電應(yīng)力式傳感器，可靠性高，可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內(nèi)工作。有模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，也有數(shù)字脈沖信號(hào)輸出，容易與計(jì)算機(jī)等數(shù)字系統(tǒng)配套使用，是一種比較先進(jìn)、理想的測(cè)量?jī)x器。蒸汽流量計(jì)主要用于工業(yè)管道中蒸汽介質(zhì)流體的流量測(cè)量，蒸汽流量計(jì)特點(diǎn)是壓力損失小,量程范圍大,精度高,在測(cè)量工況體積流量時(shí)幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數(shù)的影響。無可動(dòng)機(jī)械零件，因此可靠性高,維護(hù)量小。儀表參數(shù)能長(zhǎng)期穩(wěn)定。電磁流量計(jì)其作用是產(chǎn)生均勻的直流或交流磁場(chǎng)。直流磁路用永久磁鐵來實(shí)現(xiàn)，其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，受交流磁場(chǎng)的干擾較小，但它易使通過測(cè)量導(dǎo)管內(nèi)的電解質(zhì)液體極化，使正電極被負(fù)離子包圍，負(fù)電極被正離子包圍，即電極的極化現(xiàn)象，并導(dǎo)致兩電極之間內(nèi)阻增大，因而嚴(yán)重影響儀表正常工作。當(dāng)管道直徑較大時(shí)，永久磁鐵相應(yīng)也很大，笨重且不經(jīng)濟(jì)，所以電磁流量計(jì)一般采用交變磁場(chǎng)，且是50HZ工頻電源激勵(lì)產(chǎn)生的。

應(yīng)用對(duì)象：流量控制器應(yīng)用系統(tǒng)集成器、專用氣體制造商、真空元件供應(yīng)商、真空系統(tǒng)集成器、

途和特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于氣體質(zhì)量的精確測(cè)量。它將被測(cè)氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積流或標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流。

該氣體質(zhì)量流量計(jì)具有精度高，使用壽命長(zhǎng)，重復(fù)性好，流量范圍寬，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。通過氣體質(zhì)量測(cè)試方法測(cè)量氣體，目前在中國(guó)處于領(lǐng)先地位。